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論文・著書情報


タイトル
和文:(Al,Sc)N強誘電体薄膜の結晶構造及び電気特性に及ぼす成膜条件の影響 
英文: 
著者
和文: 河野駿平, 岡本一輝, 影山壮太郎, 孫納納, 舟窪浩.  
英文: Shumpei Kawano, Kazuki Okamoto, Sotaro Kageyama, 孫納納, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2025年1月8日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第63回セラミックス基礎科学討論会 
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開催地
和文:新潟県 新潟市 
英文: 

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