Electrical behavior of dry etching induced damage on polar and non-polar GaN MIS interface properties

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical behavior of dry etching induced damage on polar and non-polar GaN MIS interface properties

著者

和文:	Koji Yoshitsugu, Takahiro Yamada, Yuki Takiguchi, Shingo Tomohisa, Takashi Takenaga, 宮本恭幸.
英文:	Koji Yoshitsugu, Takahiro Yamada, Yuki Takiguchi, Shingo Tomohisa, Takashi Takenaga, Yasuyuki Miyamoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2024年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Workshop on Nitride Semiconductors

開催地

和文:
英文:	Honolulu