コンビナトリアルスパッタリング法による多元系窒化物エピタキシャル薄膜の一括合成

論文・著書情報

タイトル

和文:	コンビナトリアルスパッタリング法による多元系窒化物エピタキシャル薄膜の一括合成
英文:	High-Throughput Synthesis of Multinary Nitride Epitaxial Thin Films Using Combinatorial Sputtering System

著者

和文:	相馬拓斗, 吉松公平, 大友明.
英文:	Takuto Soma, Kohei Yoshimatsu, Akira Ohtomo.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2025年3月

出版者

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会議名称

和文:	日本セラミックス協会2025年年
英文:	The Ceramic Society of Japan Annual Meeting 2025

開催地

和文:	静岡県浜松市
英文:	Hamamatsu, Shizuoka

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