Characteristics Comparison of Interlayer Couplers Between Silicon Oxynitride and Silicon Waveguide Layers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristics Comparison of Interlayer Couplers Between Silicon Oxynitride and Silicon Waveguide Layers

著者

和文:	姚凱繽, MOATAZShaher Anis Mahmoud Eissa, 堀川剛, 西山伸彦.
英文:	Kaibin Yao, Shaher Anis Mahmoud Eissa Moataz, Tsuyoshi Horikawa, Nobuhiko Nishiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2025年9月7日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第86回応用物理学会秋季学術講演会
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開催地

和文:	名城大学
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