レーザー加工によるd33モードの圧電MEMSデバイスの開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	レーザー加工によるd33モードの圧電MEMSデバイスの開発
英文:	Development of d33-mode piezoelectric MEMS devices using laser etching process

著者

和文:	宋俊東, 寺島日海, 柴尾直樹, 小野晋吾, 中嶋宇史, 春本高志, 史蹟, 岡村総一郎.
英文:	Jundong Song, Hiumi Terashima, Naoki Shibao, Shingo Ono, Takashi Harumoto, Ji Shi, Takashi Nakajima, Soichiro Okamura.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2025年6月14日

出版者

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会議名称

和文:	第42回強誘電体会議
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開催地

和文:	京都
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