Next-generation EHD micropumps with space-efficient MEMS-fabricated needle and ring electrode arrays

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Next-generation EHD micropumps with space-efficient MEMS-fabricated needle and ring electrode arrays

著者

和文:	ZHU Yichuan, De Volder Michael Franciscus L, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Yichuan Zhu, Michael De Volder, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators A: Physical

巻, 号, ページ

Volume 396 Page 117160

出版年月

2025年12月16日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI