Deposition of amorphous carbon films using a multipole sputtering gun with neodymium magnets

論文・著書情報

タイトル

和文:	Deposition of amorphous carbon films using a multipole sputtering gun with neodymium magnets
英文:	Deposition of amorphous carbon films using a multipole sputtering gun with neodymium magnets

著者

和文:	CHEN SONGYANG, 小松原理央, 赤坂大樹.
英文:	Chen Songyang, Rio Komatsubara, Hiroki Akasaka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2025年5月7日

出版者

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英文:

会議名称

和文:	18th International Conference on New Diamond and Nano Carbons,
英文:	18th International Conference on New Diamond and Nano Carbons,

開催地

和文:
英文: