トモグラフィ発光分光計測を用いたCF4/O2容量結合プラズマの診断

吉井 大翔; 土居 謙太; 清田 哲司; 叶 宇晨; 何 文涛; 赤塚 洋

論文・著書情報

タイトル

和文:	トモグラフィ発光分光計測を用いたCF4/O2容量結合プラズマの診断
英文:	Diagnostics of CF4/O2 Capacitively Coupled Plasma Using Tomographic Emission Spectroscopy

著者

和文:	吉井大翔, 土居謙太, 清田哲司, 叶宇晨, 何文涛, 赤塚洋.
英文:	Masato Yoshii, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Yuchen Ye, Wentao He, Hiroshi Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第73回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
英文:	Extended Abstracts of the 73rd JSAP Spring Meeting 2026

巻, 号, ページ

p. 08-123

出版年月

2026年3月4日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第73回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 73rd JSAP Spring Meeting 2026

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo

公式リンク

https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2026s/presentation/18p-M_103-2

アブストラクト

低圧プラズマを用いたドライエッチングは半導体デバイス作製において不可欠なプロセスであり、さらなるプロセス改善に向けてプラズマパラメータの測定を行う重要性が高まっている。本研究では、CF4/O2容量結合プラズマを対象に、同時に複数視線の測定が可能なトモグラフィ発光分光計測を用いて、分光放出係数などの位置分布を得ることができたので報告する。

【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて

論文・著書情報