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論文・著書情報


タイトル
和文:トモグラフィ発光分光計測を用いたCF4/O2容量結合プラズマの診断 
英文:Diagnostics of CF4/O2 Capacitively Coupled Plasma Using Tomographic Emission Spectroscopy 
著者
和文: 吉井 大翔, 土居 謙太, 清田 哲司, 叶 宇晨, 何 文涛, 赤塚 洋.  
英文: Masato Yoshii, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Yuchen Ye, Wentao He, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第73回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 
英文:Extended Abstracts of the 73rd JSAP Spring Meeting 2026 
巻, 号, ページ         p. 08-123
出版年月 2026年3月4日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:第73回応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 73rd JSAP Spring Meeting 2026 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 
公式リンク https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2026s/presentation/18p-M_103-2
 
アブストラクト 低圧プラズマを用いたドライエッチングは半導体デバイス作製において不可欠なプロセスであり、さらなるプロセス改善に向けてプラズマパラメータの測定を行う重要性が高まっている。 本研究では、CF4/O2容量結合プラズマを対象に、同時に複数視線の測定が可能なトモグラフィ発光分光計測を用いて、分光放出係数などの位置分布を得ることができたので報告する。

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