Effect of Annealing on the Micro-Mechanical Properties of Gold Micro-cantilevers with Ti/Au Multi-layered Structures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Annealing on the Micro-Mechanical Properties of Gold Micro-cantilevers with Ti/Au Multi-layered Structures

著者

和文:	十朱悦誠, 栗岡智行, 彦坂元, 町田克之, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	Nobutaka Toake, Tomoyuki Kurioka, Gen Hikosaka, Katsuyuki Machida, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2026年9月21日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	The 52nd International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2026 Interlaken)

開催地

和文:
英文:	Interlaken