Thermal decomposition processes of highly hydrogenated diamond-like carbon film by temperature increase

論文・著書情報

タイトル

和文:	Thermal decomposition processes of highly hydrogenated diamond-like carbon film by temperature increase
英文:	Thermal decomposition processes of highly hydrogenated diamond-like carbon film by temperature increase

著者

和文:	Daisuke Niwa, Tomohiro Mishima, Koji Nakanishi, Naoki Fukumuro, Masaya Takeuchi, Tsuneo Suzuki, 赤坂大樹, Fuminobu Hori, Atsushi Yabuuchi, 木野村淳.
英文:	Daisuke Niwa, Tomohiro Mishima, Koji Nakanishi, Naoki Fukumuro, Masaya Takeuchi, Tsuneo Suzuki, Hiroki Akasaka, Fuminobu Hori, Atsushi Yabuuchi, Atsushi Kinomura.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	Thin Solid Films
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 850 pp. 141011

出版年月

2026年8月1日

出版者

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会議名称

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開催地

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