窒素含有がDLC膜構造に与える影響と電極機 能性の評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	窒素含有がDLC膜構造に与える影響と電極機能性の評価
英文:	Evaluation of the effects of nitrogen incorporation on DLC film structure and electrode functionality

著者

和文:	萌出大道, 赤坂大樹, 青野祐美, 針谷達, 向山義治, 平栗健二, 大越康晴.
英文:	H. Moide, H. Akasaka, M. Aono, T. Harigai, Y. Mukouyama, K. Hirakuri, Y. Ohgoe.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2026年3月28日

出版者

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会議名称

和文:	2026春季応用物理学会講演会
英文:	JSAP Spring meeting 2026

開催地

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