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佃真文 研究業績一覧 (6件)
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国内会議発表 (査読有り)
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加賀谷 賢,
小西敏文,
山根大輔,
松島隆明,
佃 真文,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
エネルギーハーベストデバイスの小型化の検討,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム,
pp. 6PM3-PIM-003,
Nov. 2013.
公式リンク
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山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
加賀谷 賢,
佃 真文,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
アレイ型MEMS加速度センサの特性評価,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第5回集積化MEMSシンポジウム,
pp. 6PM3-PIM-002,
Nov. 2013.
公式リンク
国内会議発表 (査読なし・不明)
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山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
加賀谷 賢,
佃 真文,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
アレイ型MEMS加速度センサの基本特性評価,
第74回応用物理学会秋季学術講演会・半導体A(MEMS、NEMSの基礎と応用:異種機能集積化),
pp. 18p-P11-4,
Sept. 2013.
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加賀谷 賢,
小西敏文,
山根大輔,
松島隆明,
佃 真文,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
エネルギーハーベストデバイスの検討(1),
第74回応用物理学会秋季学術講演会,
pp. 18p-P11-5,
Sept. 2013.
公式リンク
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佃 真文,
山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
加賀谷 賢,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
アレイ型MEMS加速度センサの基礎検討,
平成25年度電気学会センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会,
pp. MSS-13-001,
Aug. 2013.
公式リンク
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山根大輔,
小西敏文,
松島隆明,
加賀谷 賢,
佃 真文,
伊藤浩之,
石原 昇,
年吉 洋,
町田克之,
益 一哉.
金メッキ集積化CMOS-MEMSによるアレイ型加速度センサの小型化,
応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ,
July 2013.
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