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保戸塚梢 研究業績一覧 (1件)
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国際会議発表 (査読なし・不明)
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H.Kuwabara,
K.Hayashi,
Y.Kuroda,
H.Nose,
K.Hotozuka,
M.Nakajima,
K.Horioka.
Counter-facing plasma focus system as an efficient and long-pulse EUV light source,
Extreme Ultraviolet Lithography II,
Proc. SPIE 7969,
SPIE,
Vol. 7969,
pp. 7969R-1-8,
Apr. 2011.
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