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山本敏之 研究業績一覧 (2件)
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国内会議発表 (査読なし・不明)
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山本敏之,
藤田壽憲,
川嶋健嗣,
香川利春,
榊和敏.
空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージの超精密位置決め,
第12回流体計測制御シンポジウム,
計測自動制御学会産業応用部門講演論文集,
pp. 26-29,
Nov. 2011.
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山本 敏之,
藤田壽憲,
川嶋健嗣,
香川利春,
榊 和敏.
低流体ノイズ弁による空気圧微動ステージの超精密位置決め制御,
平成22年秋季フルードパワーシステム講演会講演論文集,
pp. 25-27,
Dec. 2010.
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