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研究業績一覧 (1件)
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国際会議発表 (査読なし・不明)
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T. Toki,
P. Izikson,
J. Kosugi,
N. Sakasai,
K. Saotome,
Kazuaki Suzuki,
D. Kandel,
J. Robinson,
Y. Koyanagi.
Simultaneous optimization of dose and focus controls in advanced ArF immersion scanners,
SPIE Advanced Lithography,
Proceeding of SPIE,
Vol. 7640,
pp. 764016-1-8,
2010.
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