|
研究業績一覧 (1件)
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 全件表示
論文
-
O. R. Wood II,
W. J. Trybula,
J. Greschner,
S. Kalt,
T. Bayer,
S. Shimizu,
H. Yamamoto,
Kazuaki Suzuki,
M. S. Gordon,
C. F. Robinson,
R. S. Dhaliwal,
C. W. Thiel,
N. Caldwell,
M. S. Lawliss,
C. Huang.
Ultrathin membrane masks for electron projection lithography,
J. Vac. Sci. Technol. B,
American Vacuum Society,
Vol. 22,
pp. 3072-3076,
Dec. 2004.
[ BibTeX 形式で保存 ]
[ 論文・著書をCSV形式で保存
]
[ 特許をCSV形式で保存
]
|