論文

• Kazuaki Suzuki, N. Hirayanagi, T. Fujiwara, A. Yamada, J. Ikeda, T. Yahiro, S. Kojima, J. Udagawa, H. Yamamoto, N. Katakura, M. Suzuki, T. Aoyama, H. Takekoshi, T. Umemoto, H. Shimizu, S. Fukui, S. Suzuki, T. Okino, Y. Ohkubo, T. Shimoda, T. Tanida, Y. Watanabe, Y. Kohama, K. Ohmori, F. Mori, S. Takemoto, T. Yoshioka, H. Hirose, K. Morita, K. Hada, S. Kawata, Y. Kakizaki, T. Miura. Full-field exposure performance of electron projection lithography tool, J. Vac. Sci. Technol. B, American Vacuum Society, Vol. 22, No. 6, pp. 2885-2890, Dec. 2004.

[ BibTeX 形式で保存 ]    [ 論文・著書をCSV形式で保存 ]    [ 特許をCSV形式で保存 ]