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鍵直樹 1999年 研究業績一覧 (7件 / 745件)
論文
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鍵直樹,
藤井修二,
湯浅和博,
田中克昌.
有機物質のシリコンウェハ表面の吸着特性と水分の影響 クリーンルーム内のガス状有機物質に関する研究,
日本建築学会計画系論文集,
社団法人 日本建築学会,
Vol. No.517,
No. 517,
pp. 53-57,
Mar. 1999.
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鍵直樹,
藤井修二,
湯浅和博,
並木則和.
シリコンウェハ表面の分子状汚染物質吸着における理論的検討,
空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集,
pp. 223-225,
1999.
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鍵直樹,
藤井修二,
湯浅和博.
クリーンルーム中の有機物質のウェハ表面吸着機構,
日本建築学会計画系論文集,
社団法人 日本建築学会,
Vol. 516,
No. 516,
pp. 47-51,
1999.
国際会議発表 (査読なし・不明)
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Y. Pan,
H. Kobayashi,
A. Kimura,
Shuji Fujii,
K. Yuasa,
N. Kagi.
Evaluation of Cationic Contaminants in Clean Room,
First Asia Aerosol Conference,
pp. 297-298,
1999.
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N. Kagi,
S. Fujii,
K. Yuasa,
N. Namiki.
Adsorption Model of Molecular Contaminant on Silicon Wafer,
First Asia Aerosol Conference,
First Asia Aerosol Conference,
No. 1,
pp. 229-230,
1999.
国内会議発表 (査読なし・不明)
学位論文
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