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湯地敏史 2011年 研究業績一覧 (5件 / 37件)
論文
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Toshifumi Yuji,
Narong Mungkung,
Yuichi Kiyota,
Daishiro Uesugi,
Minobu Kawano,
Kenichi Nakabayashi,
Hisaaki Kataoka,
Yoshifumi Suzaki,
Nobuki Kashihara,
Hiroshi Akatsuka.
Surface Modification of Si Wafer by Low-Pressure High-Frequency Plasma Chemical Vapor Deposition Method,
IEEE Trans. Plasma Sci.,
IEEE,
Vol. 39,
No. 6,
pp. 1427-1431,
June 2011.
公式リンク
国際会議発表 (査読有り)
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T. Yuji,
Y. Kiyota,
Y. Okamura,
H. Kinoshita,
N. Mungkung,
Y. Suzaki,
T. Hamada,
H. Akatsuka.
Cleaning Process for Semiconductor Equipment Process on Atmospheric-Pressure Non-Equilibrium DC Pulse Plasma Jet,
The Japan – Thailand – Lao P.D.R. Joint Friendship International Conference on Applied Electrical and Mechanical Engineering 2011,
Proc. the Japan – Thailand – Lao P.D.R. Joint Friendship International Conference on Applied Electrical and Mechanical Engineering 2011,
Dept. Electrical Technology Education King Mongkut's University of Technology Thonburi (KMUTT),
pp. 51-54,
Sept. 2011.
公式リンク
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T. Yuji,
N. Mungkung,
A. Kobayashi,
Y. Suzaki,
H. Akatsuka.
Diagnostics of Vibration and Rotational Temperatures in Atmospheric-Pressure Non-Equilibrium Discharge Electrodeless-Type Microwave Plasma Jet,
The Japan – Thailand – Lao P.D.R. Joint Friendship International Conference on Applied Electrical and Mechanical Engineering 2011,
Proc. the Japan – Thailand – Lao P.D.R. Joint Friendship International Conference on Applied Electrical and Mechanical Engineering 2011,
Dept. Electrical Technology Education King Mongkut's University of Technology Thonburi (KMUTT),
pp. 301-304,
Sept. 2011.
公式リンク
国内会議発表 (査読なし・不明)
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湯地敏史,
赤塚洋,
須崎嘉文,
芝田浩,
田代真一,
田中学.
オイラー法による大気圧非平衡DCパルスプラズマ中のラジカルシミュレーション,
電気学会プラズマ研究会,
電気学会研究会資料,
社団法人 電気学会,
Vol. PST-11-063~070,
pp. 21-24,
Aug. 2011.
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湯地敏史,
清田佑一,
川野美延,
中林健一,
田代真一,
田中学,
赤塚洋.
高周波低圧プラズマCVDにおける発光分光計測,
平成23年電気学会全国大会,
平成23年電気学会全国大会講演論文集,
社団法人 電気学会,
# 1,
p. 241,
Mar. 2011.
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