論文

• Devi Srujana Tenneti, Chihaya Mukaide, Kisuke Miyado, Torauto Yamada, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Design and Evaluation of a Dual Detection Range Single-Axis MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Proof-Mass Structure for Suppressed Warpage, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 64, p. 04SP20, Apr. 2025.  公式リンク  
  

国際会議発表 (査読有り)

• Devi Srujana Tenneti, Kisuke Miyado, Chihaya Mukaide, Torauto Yamada, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Suppression of Warpage in Perforated Proof-Mass of Gold Single-Axis MEMS Accelerometers for Micro-g Level Sensing, 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), Sept. 2024.
• Kisuke Miyado, Torauto Yamada, Devi Srujana Tenneti, Chihaya Mukaide, Katsuyuki Machida, Tomoyuki Kurioka, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito. Effect of Perforated Proof-Mass Hole Size on Device Characteristics of Gold Single-Axis MEMS Accelerometer for Micro-g Level Sensing, 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), 50th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2024 Montpellier), Sept. 2024.

国内会議発表 (査読有り)

• 山田 虎人, 向出 千隼, 栗岡 智行, 町田 克之, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 曽根 正人, 三宅 美博, 伊藤 浩之. 長期振動試験によるAu錘1軸MEMS加速度センサの耐久性評価, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.
• 向出 千隼, 山田 虎人, 栗岡 智行, 町田 克之, Chun-Yi Chen, Chang Tso-Fu Mark, 三宅 美博, 曽根 正人, 伊藤 浩之. ワイドレンジAu錘1軸MEMS加速度センサにおける検出範囲の検討, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.
• 高畑 寿志, 栗岡 智行, 山田 虎人, 向出 千隼, 町田 克之, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 三宅 美博, 伊藤 浩之, 曽根 正人. Ti/Au積層九十九折ばねのばね定数に対するTi/Au膜厚の影響評価, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.
• 奥村 雅子, 栗岡 智行, 山田 虎人, 森 達彦, 向出 千隼, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 三宅 美博, 伊藤 浩之, 町田 克之, 曽根 正人. 円形金錘1軸静電容量型MEMS加速度センサの構造とデバイス特性評価, 第73回応用物理学会春季学術講演会, 第73回応用物理学会春季学術講演会, Mar. 2026.

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