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板東賢一 研究業績一覧 (8件)
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論文
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板東 賢一,
岩渕 修,
横田 眞一.
マイクロ温度センサを用いたIn-Situウェハ温度計測制御(第2報, MEMS技術を応用したセンサの試作),
日本機械学会論文集C編,
Vol. 75,
No. 759,
pp. 2942-2948,
Nov. 2009.
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板東賢一,
奥村卓司,
森本 茂夫,
長田 哲,
横田眞一.
大きなむだ時間を有する非線形プロセスに対する非線形状態予測スライディングモード制御とその応用,
日本機械学會論文集. C編,
社団法人日本機械学会,
Vol. 74,
No. 744,
pp. 2001-2008,
Aug. 2008.
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板東賢一,
大久保英明,
横田眞一.
マイクロ温度センサを用いたIn-Situウェハ温度計測制御 : 第1報,ラージモデルを用いた実験的検討,
日本機械学會論文集. C編,
社団法人日本機械学会,
Vol. 74,
No. 743,
pp. 1740-1748,
July 2008.
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板東賢一.
むだ時間を有するプロセスに対する離散時間スライディングモード制御と半導体製造用クーリングプレートへの適用,
日本機械学会論文集C編,
Vol. 69,
No. 682,
pp. 1587-1594,
2003.
国内会議発表 (査読なし・不明)
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鍵直樹,
柳宇,
東賢一,
金勲.
空調システムによるPM2.5の個人曝露量の推定方法,
第53回空気調和・冷凍連合講演会,
Apr. 2019.
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綿寛子,
鍵直樹,
柳宇,
東賢一,
金勲,
田村一.
事務所建築物における室内PM2.5 濃度と対策,
第36回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集,
pp. 109-111,
Apr. 2019.
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土子あみ,
鍵直樹,
金勲,
東賢一,
柳宇.
事務所室内における2-エチル-1-ヘキサノール濃度の特徴,
第36回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集,
pp. 106-108,
Apr. 2019.
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新井美央,
鍵直樹,
藤井修二,
並木則和,
諏訪好英,
関口和彦,
東賢一,
田村一.
室内におけるオゾンとリモネンによる生成粒子の解析,
第32回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会予稿集,
pp. 52-54,
2015.
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