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特許情報


発明の名称
金属酸化物単結晶基板表面の平坦化方法及び金属酸化物単結晶基板 
発明者
鯉沼秀臣, 松本祐司, 高橋　竜太.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2005/03/28
出願番号
特願2005-091840
公開日
2006/04/13
公開番号
特開2006-096649
備考
審査未請求取下

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