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特許情報


発明の名称
光起電力装置の製造方法およびそれに用いるエッチング装置 
発明者
小長井誠, 佐藤　剛彦, 松野　繁, 前川　武之.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 三菱電機株式会社.  
出願日
2005/05/27
出願番号
特願2005-155422
公開日
2006/12/07
公開番号
特開2006-332427

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