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特許情報


発明の名称
成膜装置用マルチソース機構 
発明者
鯉沼秀臣, 松本祐司, 伊高　健治, 片山　正士.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 独立行政法人科学技術振興機構.  
出願日
2004/08/30
出願番号
特願2004-251150
公開日
2006/03/09
公開番号
特開2006-063432

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