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特許情報


発明の名称
半導体基板、半導体装置及び半導体基板の作成方法 
発明者
酒井徹志, 大見俊一郎, 山崎　崇.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2004/10/04
出願番号
特願2005-514563
公開日
2005/04/21
公開番号
特再表2005-036638

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