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特許情報


発明の名称
集束イオンビーム加工用試料ホルダ及び集束イオンビーム装置 
発明者
山崎陽太郎, 黒田　カルロス　清一, 滝澤　吉雄.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2008/06/16
出願番号
特願2008-156262
公開日
2009/06/18
公開番号
特開2009-135078

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