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特許情報


発明の名称
ナノ粒子配列基板の製造方法 
発明者
初澤毅, 柳田　保子, 古川　秀樹.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2008/02/28
出願番号
特願2008-047987
公開日
2009/09/10
公開番号
特開2009-202296

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