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特許情報


発明の名称
プラズマ発生装置及びプラズマ生成方法 
発明者
沖野晃俊, 永田洋一, 宮原秀一.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2008/05/27
出願番号
特願2008-137727
公開日
2009/12/10
公開番号
特開2009-289432

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