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特許情報


発明の名称
酸化チタン膜および酸化チタン膜形成方法 
発明者
赤津隆, 山田　祐司, 干川　康人, 篠田豊, 若井史博.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2009/03/15
出願番号
特願2009-062153
公開日
2010/09/30
公開番号
特開2010-215438

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