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特許情報


発明の名称
静電アクチュエータおよびその製造方法 
発明者
實吉敬二, 山本　浩輔.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, ストローブ株式会社.  
出願日
2010/02/19
出願番号
特願2010-034666
公開日
2011/09/01
公開番号
特開2011-172404
登録日
2014/07/11
登録番号
特許第5575503号
備考
権利存続

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