【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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特許情報
発明の名称
液晶性ブロック共重合体塗膜、液晶性ブロック共重合体薄膜の製造方法及びパターン形成方法
発明者
彌田智一,
小村元憲
, 新納 洋, 野殿 光史 .
種別
特許
状態
登録
出願人
国立大学法人東京工業大学, 三菱レイヨン株式会社.
出願日
2011/05/09
出願番号
特願2011-104466
公開日
2012/11/29
公開番号
特開2012-233138
登録日
2015/05/29
登録番号
特許第5752987号
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