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特許情報


発明の名称
光電気化学装置および半導体装置の製造方法 
発明者
宮本恭幸, 大石　敏之, 大塚　浩志, 山中　宏冶, 山口　裕太郎, 中山　正敏, 今井　章文.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 三菱電機株式会社.  
出願日
2012/01/23
出願番号
特願2012-011185
公開日
2013/08/01
公開番号
特開2013-149914
備考
　

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