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特許情報


発明の名称
半導体膜、薄膜トランジスタ、およびこれらの製造方法 
発明者
細野秀雄, 安部勝美, 山田　和夫, 竹田　諭司　.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 旭硝子株式会社.  
出願日
2013/08/16
出願番号
特願2013-169063
公開日
2015/02/23
公開番号
特開2015-037164

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