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特許情報


発明の名称
パターン形成方法 
発明者
彌田智一, 長井圭治, 小村元憲, 村中　由夏, 山口　徹.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 日本電信電話株式会社.  
出願日
2013/09/02
出願番号
特願2013-180970
公開日
2015/03/16
公開番号
特開2015-050322
登録日
2016/04/28
登録番号
特許第5924779号

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