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特許情報


発明の名称
成膜装置 
発明者
竹内希, 中谷内裕徳.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2014/11/04
出願番号
特願2014-224440
公開日
2016/05/23
公開番号
特開2016-088802

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