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特許情報


発明の名称
圧電薄膜、圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置 
発明者
舟窪浩, 清水荘雄, 長谷川光勇, 佐藤　祐介　, 佐藤　和希子　, 石田　未来　.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, ＴＤＫ株式会社.  
出願日
2018/01/09
出願番号
特願2018-001161
公開日
2019/07/22
公開番号
特開2019-121702

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