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特許情報


発明の名称
ベイパーチャンバー及びその製造方法 
発明者
竹内希, 社外発明者.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京科学大学, 岩間 敏一.  
出願日
2024/10/10
出願番号
特願2024-177821
公開日
2026/04/22
公開番号
特開2026-068199

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