衝突輻射モデルに基づく発光分光計測によるアルゴンプロセスプラズマの診断のための原子過程モデル

Publication Information

Title

Japanese:	衝突輻射モデルに基づく発光分光計測によるアルゴンプロセスプラズマの診断のための原子過程モデル
English:	Excitation kinetic model for argon process plasma diagnostics by spectroscopic measurement based on collisional-radiative model

Author

Japanese:	山下雄也, 赤塚洋.
English:	Yuya Yamashita, Hiroshi Akatsuka.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第78回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
English:	Extended abstracts, The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017

Volume, Number, Page

p. 07-007

Published date

Aug. 25, 2017

Publisher

Japanese:	公益社団法人応用物理学会
English:	The japan society of applied physics

Conference name

Japanese:	第78回応用物理学会秋季学術講演会
English:	The 78th JSAP Autumn Meeting, 2017

Conference site

Japanese:	福岡
English:	Fukuoka

Official URL