薄膜化による(Al,Sc)N膜の結晶異方性及び強誘電特性の向上

Publication Information

Title

Japanese:	薄膜化による(Al,Sc)N膜の結晶異方性及び強誘電特性の向上
English:

Author

Japanese:	安岡慎之介, 水谷涼一, 大田怜佳, 白石貴久, 清水荘雄, 安井伸太郎, 江原祥隆, 西田謙, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 今井康彦, 坂田修身, 舟窪浩.
English:	Shinnosuke Yasuoka, Ryoichi Mizutani, Reika Ota, Takahisa Shiraishi, Shimizu Takao, Shintaro Yasui, Yoshitaka Ehara, ken nishida, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 今井康彦, Osami Sakata, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 22, 2022

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	第69回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	相模原市
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