スパッタリング法によるHfO2-CeO2強誘電体厚膜の非加熱合成

Publication Information

Title

Japanese:	スパッタリング法によるHfO2-CeO2強誘電体厚膜の非加熱合成
English:

Author

Japanese:	茶谷那知, 平井浩司, 安岡慎之介, 岡本一輝, 山岡和希子, 井上ゆか梨, 舟窪浩.
English:	Nachi Chaya, Koji Hirai, Shinnosuke Yasuoka, Kazuki Okamoto, 山岡和希子, 井上ゆか梨, HIROSHI FUNAKUBO.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 15, 2023

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第70回応用物理学会春季学術講演会
English:

Conference site

Japanese:	東京
English: