スパッタリング法で堆積したMoS2薄膜へのコンタクト抵抗と熱処理依存性

Publication Information

Title

Japanese:	スパッタリング法で堆積したMoS2薄膜へのコンタクト抵抗と熱処理依存性
English:

Author

Japanese:	外山真矢人, 大橋匠, 松浦賢太朗, 清水淳一, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
English:	Mayato Toyama, Takumi Ohashi, Kentaro Matsuura, Junnichi Shimizu, Iriya Muneta, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 16, 2017

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第64回応用物理学会春季学術講演会
English:	64th JSAP Spring meeting

Conference site

Japanese:	横浜
English:	Yokohama