Migration制御したスパッタリング法による2次元層状MoS2成膜

Publication Information

Title

Japanese:	Migration制御したスパッタリング法による2次元層状MoS2成膜
English:

Author

Japanese:	大橋匠, 坂本拓朗, 松浦賢太朗, 清水淳一, 外山真矢人, 石原聖也, 日比野祐介, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整.
English:	Takumi Ohashi, Takuro Sakamoto, Kentaro Matsuura, Junnichi Shimizu, Mayato Toyama, 石原聖也, 日比野祐介, Iriya Muneta, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Atsushi Ogura, Hitoshi Wakabayashi.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 20, 2018

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第65回応用物理学会春季学術講演会
English:	65th JSAP Spring meeting

Conference site

Japanese:	東京
English:	Tokyo