スパッタリング法によるHfO2-CeO2強誘電体薄膜のYSZ基板上への非加熱合成

Publication Information

Title

Japanese:	スパッタリング法によるHfO2-CeO2強誘電体薄膜のYSZ基板上への非加熱合成
English:

Author

Japanese:	舟窪浩, 茶谷那知, 平井浩司, 安岡慎之介, 岡本一輝, 山岡和希子, 井上ゆか梨.
English:	HIROSHI FUNAKUBO, Nachi Chaya, Koji Hirai, Shinnosuke Yasuoka, Kazuki Okamoto, 山岡和希子, 井上ゆか梨.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Jan. 7, 2024

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第62回セラミックス基礎科学討論会
English:

Conference site

Japanese:	東京都
English: