静電容量型MEMS加速度センサに向けたTi/Au積層マイクロカンチレバーの実効ヤング率に対するアニーリングの影響評価

Publication Information

Title

Japanese:	静電容量型MEMS加速度センサに向けたTi/Au積層マイクロカンチレバーの実効ヤング率に対するアニーリングの影響評価
English:

Author

Japanese:	森達彦, 栗岡智行, 渡邉春海, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
English:	Tatsuhiko Mori, Tomoyuki Kurioka, Shunkai Watanabe, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Oct. 2025

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	第17回集積化MEMSシンポジウム
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Conference site

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