Ti/Auで形成した九十九折ばねにおけるTi膜のばね形状への影響に関する検討

Publication Information

Title

Japanese:	Ti/Auで形成した九十九折ばねにおけるTi膜のばね形状への影響に関する検討
English:

Author

Japanese:	高畑寿志, 栗岡智行, 山田虎人, 町田克之, Tso-Fu Mark Chang, 三宅美博, 伊藤浩之, 曽根正人.
English:	Hisashi Takahata, Tomoyuki Kurioka, Torauto Yamada, Katsuyuki Machida, Tso-Fu Mark Chang, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito, Masato Sone.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
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Volume, Number, Page

Published date

Nov. 2025

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	第17回集積化MEMSシンポジウム
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Conference site

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