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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Radiation effects of ion beams on polystyrene resist films 
著者
和文: 河内宣之.  
英文: NORIYUKI KOUCHI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Nuclear Instruments and Methods in Physics Research 
巻, 号, ページ Vol. B33        pp. 799-802
出版年月 1988年 
出版者
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会議名称
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開催地
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