Computational Modeling of Reactive Gas Modulation in RF Reactive Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Computational Modeling of Reactive Gas Modulation in RF Reactive Sputtering

著者

和文:	H.Sekiguchi, Takashi Murakami, Atsushi Kanzawa, Takahiro Imai, Takuya Honda.
英文:	H.Sekiguchi, Takashi Murakami, Atsushi Kanzawa, Takahiro Imai, Takuya Honda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vac. Sci. Technol. A

巻, 号, ページ

Vol. 14 No. 4 pp. 2231-2234

出版年月

1996年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: