Experimental study of capillary Z-pinch discharge plasma for EUV lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Experimental study of capillary Z-pinch discharge plasma for EUV lithography

著者

和文:	Masato Watanabe, Inho Song, Yasushi Hayashi, Akitoshi Okino, Koich Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.
英文:	Masato Watanabe, Inho Song, Yasushi Hayashi, Akitoshi Okino, Koich Yasuoka, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Europhysics Conference Abstracts(CD-ROM)

巻, 号, ページ

Vol. 25G pp. P5.007

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: