Mathematical modeling and design of a novel 2-DOF micro attraction actuator for a micro optical switch

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mathematical modeling and design of a novel 2-DOF micro attraction actuator for a micro optical switch

著者

和文:	Daiki KAMIYA, Saeed BAGHERI, Mikio HORIE.
英文:	Daiki KAMIYA, Saeed BAGHERI, Mikio HORIE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. SPIE; MEMS, MOEMS and Micromachining

巻, 号, ページ

No. 5455 pp. 137-146

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	France

DOI