Improvement of capacitance-voltage (C-V) characteristics of YSZ/Si(001) and ZrO<sub>2</sub>/Si thin film by Nb-doping

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement of capacitance-voltage (C-V) characteristics of YSZ/Si(001) and ZrO₂/Si thin film by Nb-doping

著者

和文:	Naoki Wakiya, Tomohiko Moriya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.
英文:	Naoki Wakiya, Tomohiko Moriya, Kazuo Shinozaki, Nobuyasu Mizutani.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mat. Res. Soc. Symp. Proc.

巻, 号, ページ

Vol. 747 pp. 153-158

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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